吉時利參數測試系統

S530 參數測試系統 是針對生產和實驗室環境而設計的,因為這些環境必須處理廣泛的裝置和技術,進而提供領先業界的測試方案彈性、自動化、探測站整合,以及測試資料管理功能。在提供各種標準和自訂參數測試儀給全世界客戶,以設計這些測試解決方案方面,Keithley 擁有超過 30 年的專業技術。

S535 多場地晶片驗收測試系統 是高功率、高解析度晶片位準解決方案,適合在整個實驗室工作流程中,用於測試應用解決方案中的類比、功率、混合訊號和離散裝置。不同於傳統的非同步並列測試配置,一次只在一個場地測試多個裝置,S535 的多並列測試方法可同時在多個場地測試多個裝置。如此可讓探棒索引時間縮短至少 2 倍,因而提升實驗室生產力和降低測試成本。

540 參數測試系統 是全自動、48 接腳參數測試系統,適用於高達 3 kV 功率半導體裝置和結構的晶片位準測試。完全整合式 S540 只需用探棒接觸一次,就能執行所有高壓、低壓和電容測試,最適合最新的複合功率半導體材料,包括碳化矽 (SiC) 和氮化鎵 (GaN)。

S500 整合式測試系統 是可高度配置的儀器式系統,適用於裝置、晶片或卡式位準的半導體特性分析化。建置在我們可行的儀器上,S500 整合式測試系統提供創新的測試功能和系統彈性,可調整以符合您的需求。獨特的量測功能,結合了強大且彈性的自動化特性分析套件 (ACS) 軟體,可提供市場上其他同級系統未提供的各式各樣應用和功能。 

keithley-logo

Keithley Parametric Test Systems

S530 功能

  • 迅速適應新裝置和測試需求
  • 快速、彈性、互動式測試方案開發
  • 與著名的全自動探測站相容
  • 用於 1kV、C-V、脈波產生、頻率量測和低電壓量測的選項
  • 與吉時利的機型 9139A 探棒卡轉接器相容
  • 支援重複使用現有的五吋探棒卡資料庫
  • 可行的檢測技術確保實驗室和晶圓廠的高量測精確度和重複性

S535 功能

  • 在多場地並列或串列操作中,自動執行所有晶片位準直流參數測試。探棒只需要接觸一次,即可測試兩個或四個場地。
  • 多達 64 個測試接腳:四個場地並列測試,每個場地 16 個接腳;兩個場地並列測試,每個場地 32 個接腳;單一場地,串列操作,64 個接腳
  • 最高 100 W 操作:100 V @ 1 A;200 V @ 100 mA
  • 在高速、多接腳、全自動測試環境中達到 1 fA,10 nV 解析度
  • Linux 架構的 Keithley 測試環境 (KTE) 系統軟體相容於舊型 Keithley 測試環境、可輕鬆開發測試和快速執行。
  • Keithley S530 式探棒卡基礎架構也支援舊型 S400 應用解決方案

S540 功能

  • 探棒接觸一次,不必變更纜線或探棒卡基礎架構,針對最多 48 個接腳執行所有晶片位準參數測試,包括崩潰高壓、電容和低壓量測
  • 執行高達 3kV 的電晶體電容量測,例如 Ciss、Coss 和 Crss,不必手動重新配置測試接腳
  • 在高速、多接腳、全自動測試環境中,達到低位準量測效能
  • Linux 架構的吉時利測試環境 (KTE) 系統軟體,可讓您輕鬆開發測試和快速執行
  • 適合流程整合、流程監控和成品晶粒分類中的全自動或半自動應用
  • 將測試時間、測試設定時間和地板空間減到最少,同時達到實驗室等級量測效能,降低擁有成本

S500 功能

  • 全系列電源量測設備 (SMU) 儀器規格,包括次飛安培量測,確保可在幾乎任何裝置上進行廣泛量測。
  • 適用於記憶體特性分析化、電荷泵、單一脈波 PIV (電荷擷取分析) 和 PIV 掃描 (避免自熱) 的脈波產生和超快速 I-V。
  • 低或高通道計數系統,包括平行測試,搭配吉時利的系統啟用和可調整 SMU 儀器。
  • 高電壓、電流和電源量測儀器, 適用於測試如功率 MOSFET 和顯示驅動程式這類的裝置。
  • 切換、探棒卡和佈線可讓系統完全適用於您的 DUT。